粉尘传感器可监测集成电路生产过程中遇到的污染物

     随着科学技术的发展，许多工业产品的生产加工对生产环境的无尘车间工程中的粉尘浓度提出了很高的要求，这就要求生产环境具有一定的空气洁净度和 控制生产过程。 相关物质的供应质量。 例如在胶片生产中，如果胶片沾染了灰尘，会使乳剂氧化，活性减弱，pH值发生变化，从而影响胶片的感光性能。 我们来看看半导体集成电路生产无尘室中使用的粉尘传感器的解决方案。

      集成电路制造业是一个在超纯环境中使用超纯材料进行超精细加工的行业。 半导体材料的提纯是半导体器件发展的重要基础。 由于大规模和超大规模集成电路的工艺要求，为了获得高纯度的硅材料，原材料和中间体的高纯度以及高精度恒温恒湿的生产环境的清洁度 工程已成为影响产品质量的突出问题。

  集成电路芯片的良率与芯片的缺陷密度有关，而芯片的缺陷密度与空气中颗粒的数量有关。 因此，集成电路的飞速发展，不仅对控制空气中粒子的大小提出了很高的要求，还需要进一步控制粒子的数量； 同时，也与超大规模集成电路生产环境中无尘车间项目的化学污染控制有关。 要求。

       集成电路生产中可能遇到的主要污染有：颗粒杂质、无机离子、有机物、微生物、气体杂质。 广义上讲，不适宜的温度、湿度、照度、过多的静电、电磁噪声、空气噪声、微振动也是特殊污染物。 其中，当颗粒杂质、无机离子、有机物、微生物、气体杂质的含量超过一定限度时，会造成集成电路产品表面划伤、图案断开、短路、针孔、剥落，导致电路 漏电，电气特性异常。 较轻的会影响电路性能和使用寿命，较严重的会导致电路报废。

       针对这种情况，需要使用粉尘传感器对半导体集成电路生产车间的环境进行监测，确保产品生产环境达到洁净标准。  Lovemay 推荐使用 LD13C 激光粉尘传感器来感应烟草、室内灰尘等产生的烟雾和花粉。